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基板和薄膜涂层干燥设备

该装置在真空下蒸发涂层膜的溶剂,以抑制下游工艺中不均匀的发生。蒸发的溶剂在冷阱罐中聚集并回收。



    兼容基板尺寸:G2.5    

    360mm×460mm~ (2600mm×2600mm)



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