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PI固化炉

适用于光刻工艺有机聚合物膜预固化、坚膜、PI固化

    PI固化炉

    适用于晶圆、玻璃基板、陶瓷基板旋涂后固化;晶圆退火。光刻工艺有机聚合物膜预固化、坚膜、PI固化


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